发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1050819(A) 申请公布日期 1998.02.20
申请号 JP19960201414 申请日期 1996.07.31
申请人 SONY CORP 发明人 NAKAMURA KOICHI
分类号 H01L21/316;H01L21/26;H01L21/265;H01L21/76;H01L27/08;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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