发明名称 Device and method for accurate etching and removal of thin film
摘要
申请公布号 SG46459(A1) 申请公布日期 1998.02.20
申请号 SG19960004874 申请日期 1993.10.05
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 JENG SWU-JEN;NATZLE, WESLEY, C.;YU CHIENFAN
分类号 C23F4/00;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/311 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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