发明名称 CHARGED PARTICLE BEAM ALIGNER AND MINI LENS BARREL
摘要
申请公布号 JPH1050574(A) 申请公布日期 1998.02.20
申请号 JP19960200367 申请日期 1996.07.30
申请人 NIKON CORP 发明人 SHIMIZU HIROYASU
分类号 G03F7/20;H01J37/305;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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