发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH1050830(A) 申请公布日期 1998.02.20
申请号 JP19960201399 申请日期 1996.07.31
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SHINOHARA HIROBUMI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768;H01L23/522;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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