发明名称 DISPOSITIF DE MEMOIRE A SEMICONDUCTEURS AYANT UN CONDENSATEUR DE TYPE EN ARBRE
摘要 <P>Un condensateur de type en arbre comprend une électrode de stockage qui comporte une couche conductrice en forme de tronc (26a) et au moins une couche conductrice en forme de branche (30a, 34a). La couche conductrice en forme de tronc est connectée à l'une des régions de source/drain (16a) d'un transistor de transfert et elle s'étend de façon pratiquement verticale. La couche conductrice en forme de branche a une extrémité connectée à la couche conductrice en forme de tronc et elle peut avoir diverses formes permettant de lui donner une aire de surface accrue. Une couche conductrice de recouvrement (38) recouvre les surfaces à nu des couches conductrices en forme de tronc et en forme de branche, avec interposition d'une couche diélectrique (36a), et elle constitue une électrode opposée du condensateur.</P>
申请公布号 FR2752489(A1) 申请公布日期 1998.02.20
申请号 FR19970005113 申请日期 1997.04.25
申请人 UNITED MICROELECTRONICS CORPORATION 发明人 CHAO FANG CHING
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/108 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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