发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH1050939(A) 申请公布日期 1998.02.20
申请号 JP19960201509 申请日期 1996.07.31
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD 发明人 OKA NAOMASA;TAKAKURA NOBUYUKI
分类号 H01L21/28;H01L21/768;H01L21/822;H01L23/522;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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