发明名称 FOCUSING METHOD IN CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1050245(A) 申请公布日期 1998.02.20
申请号 JP19960208056 申请日期 1996.08.07
申请人 JEOL LTD 发明人 ASARI TOSHIHIRO
分类号 H01J37/147;H01J37/21;(IPC1-7):H01J37/21 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
主权项
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