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发明名称
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE, MONITORING METHOD FOR STRESS TEST MONITOR FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND STRESS TEST FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号
JPH1050098(A)
申请公布日期
1998.02.20
申请号
JP19960199060
申请日期
1996.07.29
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
OZAKI KOJI
分类号
G01R31/28;G01R31/30;G11C29/00;H01L21/66;H01L21/8247;H01L27/115;(IPC1-7):G11C29/00
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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