MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号JP19960219182-传众专利搜索

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发明名称	MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	JPH1050836(A)	申请公布日期	1998.02.20
申请号	JP19960219182	申请日期	1996.07.31
申请人	SUMITOMO METAL IND LTD	发明人	FUKUI KATSUICHI
分类号	H01L21/28;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768	主分类号	H01L21/28
代理机构		代理人
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