| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT AND ITS MANUFACTURING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1050843(A) |
申请公布日期 |
1998.02.20 |
| 申请号 |
JP19960199485 |
申请日期 |
1996.07.30 |
| 申请人 |
TOSHIBA MICROELECTRON CORP;TOSHIBA CORP |
发明人 |
GOTO KAZUJI;YASHIRO HIROFUMI;MURATA KATSUHIKO;KATO YOSHIHIRO |
| 分类号 |
H01L21/822;G06F17/50;H01L21/82;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/82 |
主分类号 |
H01L21/822 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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