| 发明名称 |
SINGLE WAFER PROCESSING GAS-PHASE GROWTH DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1050615(A) |
申请公布日期 |
1998.02.20 |
| 申请号 |
JP19960200363 |
申请日期 |
1996.07.30 |
| 申请人 |
TOSHIBA MICROELECTRON CORP;TOSHIBA CORP |
发明人 |
TANAKA KAZUHIRO;HOSHI TADAHIDE;OGINO MASANOBU |
| 分类号 |
C30B25/14;H01L21/205;H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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