发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1050720(A) 申请公布日期 1998.02.20
申请号 JP19960203435 申请日期 1996.08.01
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 YAMAHATA SHIYOUJI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/205;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
地址