Selektives Ätzen dünner Schichten,申请号DE19883856022T-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	Selektives Ätzen dünner Schichten
摘要
申请公布号	DE3856022(T2)	申请公布日期	1998.02.19
申请号	DE19883856022T	申请日期	1988.03.18
申请人	APPLIED MATERIALS, INC., SANTA CLARA, CALIF., US	发明人	DUNFIELD, JOHN S., SAN JOSE CALIFORNIA 95125, US;TAYLOR, BRADLEY J., SARATOGA CALIFORNIA 95070, US
分类号	H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065;H01L21/308;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/310;H01L21/306	主分类号	H01L21/302
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