BEAM DIVERTER UNIT FOR MULTIAXIAL INVESTIGATION IN A MICROSCOPE

摘要

Die Erfindung betrifft eine Strahlumlenkeinheit zur mehrachsigen Untersuchung von Proben in einem Mikroskop, welche einerseits die Beleuchtung und/oder die Beobachtung der Probe von mehreren Seiten, andererseits die Beobachtung der Probe in einem Winkel zur Beleuchtungsachse erlaubt. Dabei erfolgt die Untersuchung der Probe mit einem verfügbaren Mikroskop und mit der erfindungsgemässen Strahlumlenkeinheit, die sich zwischen dem Mikroskopobjektiv und der Brennebene befindet. Der Beobachtungsstrahlengang (11) kann teilweise symmetrisch zu dem Beleuchtungsstrahlengang (1) aufgebaut werden (mit punktierten Linien dargestellt). Der von dem Beleuchtungsbrennpunkt (9) ausgehende zentrale Strahl (12), der die Lage der Beobachtungsachse zeigt, und die Randstrahlen (13 und 14) treffen auf die erfindungsgemässe Strahlumlenkeinheit (8) und werden dort reflektiert. Sie werden durch einen entsprechenden Abstand der Strahlumlenkeinheit (8) von der Brennebene (6) und einen entsprechenden Neigungswinkel alpha 2 der Strahlumlenkeinheit (8) von dem Mikroskopobjektiv (5) kollimiert. Die Strahlen (12, 13 und 14) treten unter einem Ausfallswinkel beta 2 durch die Austrittsapertur des Objektivs (5) und gelangen über Linse (23) sowie Optik (25, 26) auf einen Detektor (30) mit vorgeordnetem Pinhole (29). Ohne Strahlumlenkeinheit würden sich die Strahlen (12, 13 und 14) in der Brennebene (6) in einem Punkt (15) schneiden. Dieser Strahlverlauf ist mit dünnen Linien gezeichnet.