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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR INTERFEROMETRISCHEN INSPEKTION EINER OBERFLÄCHE EINES OBJEKTES
摘要
申请公布号 DE69314795(T2) 申请公布日期 1998.02.19
申请号 DE1993614795T 申请日期 1993.06.18
申请人 BRITISH TECHNOLOGY GROUP LTD., LONDON, GB 发明人 MONTGOMERY, PAUL, CHRISTOPHER, F-34090 MONTPELLIER, FR;FILLARD, JEAN-PIERRE, F-34980 S.-GELY-DU-FESC, FR
分类号 G01B9/02;G01B11/24;G01B11/30;G01J3/453;G01J9/02;G01N21/00;G01N21/45;G01N21/55;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/30 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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