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发明名称 Ultraschalantrieb
摘要
申请公布号 DE69316315(D1) 申请公布日期 1998.02.19
申请号 DE19936016315 申请日期 1993.10.27
申请人 NIKON CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 TAKAGI, TADAO, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA 225, JP
分类号 H02N2/00;H01L41/09;H02N2/08;(IPC1-7):H01L41/09 主分类号 H02N2/00
代理机构 代理人
主权项
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