发明名称 Verfahren zur Herstellung einer dünnen Schicht mittels reaktiver Kathodenzerstäubung
摘要
申请公布号 DE69404361(T2) 申请公布日期 1998.02.19
申请号 DE19946004361T 申请日期 1994.04.14
申请人 RECHERCHE ET DEVELOPPEMENT GROUPE COCKERILL SAMBRE, LIEGE, BE 发明人 WINAND, RENE (U.L.B.), B-1330 RIXENSART, BE;LUCAS, STEPHANE (U.L.B.), B-5020 SUARLEE, BE;VANDEN BRANDE, PIERRE (U.L.B.), B-1040 BRUXELLES, BE;WEYMEERSCH, ALAIN (R.D.C.S.), B-1300 WAVRE, BE;RENARD, LUCIEN (R.D.C.S.), B-4100 SERAING, BE
分类号 C23C14/34;C23C14/56;C23C16/50;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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