发明名称 Verfahren zur Herstellung von Kristall-Dünnschichten von Typ Oxide durch eine schnelle thermische Behandlung
摘要
申请公布号 DE69128684(D1) 申请公布日期 1998.02.19
申请号 DE1991628684 申请日期 1991.09.26
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, PARIS, FR 发明人 BECHEVET, BERNARD, F-38640 CLAIX, FR;DAVAL, JACQUES, F-38240 MEYLAN, FR;ROLLAND, BERNARD, F-38240 MEYLAN, FR;VALON, BRUNO, F-38100 GRENOBLE, FR
分类号 B01J19/12;C23C14/58;C30B1/02;C30B29/16;C30B33/02 主分类号 B01J19/12
代理机构 代理人
主权项
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