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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterstruktur mit MOS- und Bipolar-Bauteilen
摘要
申请公布号 DE69224009(D1) 申请公布日期 1998.02.19
申请号 DE1992624009 申请日期 1992.06.09
申请人 MOTOROLA, INC., SCHAUMBURG, ILL., US 发明人 KIRCHGESSNER, JAMES A., TEMPE, ARIZONA 85284, US
分类号 H01L21/763;H01L21/8249;H01L27/06;(IPC1-7):H01L27/06;H01L29/08;H01L21/824 主分类号 H01L21/763
代理机构 代理人
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