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发明名称
Apparat und Verfahren zur Durchführung von Dickenmessungen einer Dünnfilmschicht mit Verformungen und örtlichen Neigungsveränderungen
摘要
申请公布号
DE69316275(D1)
申请公布日期
1998.02.19
申请号
DE19936016275
申请日期
1993.06.29
申请人
IPEC PRECISION, INC., BETHEL, CONN., US
发明人
LEDGER, ANTHONY M., NEW FAIRFIELD, CT 06812, US
分类号
G01B11/06;(IPC1-7):G01B11/06
主分类号
G01B11/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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