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发明名称 Integrierte Halbleiterschaltung und Testmethode dafür
摘要
申请公布号 DE69031551(T2) 申请公布日期 1998.02.19
申请号 DE19906031551T 申请日期 1990.07.10
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 YAMAMURA, TAKESHI, ZAMA-SHI, KANAGAWA 228, JP
分类号 H01L21/66;G01R31/28;G01R31/30;G01R31/3185;G06F11/27;(IPC1-7):G06F11/24;G06F11/26 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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