Verfahren und Gerät zur Inspektion,申请号DE19926024060-传众专利搜索

发明名称	Verfahren und Gerät zur Inspektion
摘要
申请公布号	DE69224060(D1)	申请公布日期	1998.02.19
申请号	DE19926024060	申请日期	1992.06.16
申请人	CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	TSUJI, TOSHIHIKO, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP;NOSE, NORIYUKI, C/O CANON KABUSHIKI KAISH, OHTA-KU, TOKYO, JP;YOSHII, MINORU, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP;MIYAZAKI, KYOICHI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP;TAKEUCHI, SEIJI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP
分类号	G01J9/02;G01J9/04;G01N21/88;G01N21/94;G03F7/20;(IPC1-7):G01N21/88	主分类号	G01J9/02
代理机构		代理人
主权项
地址