发明名称 In-line evaporator for vacuum deposition installation
摘要
申请公布号 GB2316095(A) 申请公布日期 1998.02.18
申请号 GB19970015044 申请日期 1997.07.18
申请人 * LEYBOLD SYSTEMS GMBH 发明人 MARTIN * HORNUNG
分类号 C23C14/24;(IPC1-7):C23C14/54 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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