Method of forming a spin on glass film of a semiconductor device,申请号GB19970027073-传众专利搜索

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发明名称	Method of forming a spin on glass film of a semiconductor device
摘要
申请公布号	GB9727073(D0)	申请公布日期	1998.02.18
申请号	GB19970027073	申请日期	1997.12.23
申请人	HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD.	发明人	HONG SANG KI;JEON SANG HO;KWON HYUG JIN
分类号	H01L21/316;H01L21/3105	主分类号	H01L21/316
代理机构		代理人
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