发明名称 用于磷化镓发光元件的外延晶片及磷化镓发光元件
摘要 一种用于Gap发光元件的外延晶片,它包含在n型Gap单晶衬底上相继生长的n型Gap缓冲层、n型Gap层、掺氮的n型Gap层和P型Gap层,其中掺氮的n型Gap层中的Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni和Cu的总浓度不超过1×10<SUP>15</SUP>cm<SUP>-3</SUP>,而缓冲层中的Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni和Cu的总浓度不超过1×10<SUP>16</SUP>cm<SUP>-3</SUP>。在片子上制作了n型和p型电极,然后将片子分割成Gap发光元件。
申请公布号 CN1173741A 申请公布日期 1998.02.18
申请号 CN97114720.5 申请日期 1997.07.17
申请人 昭和电工株式会社 发明人 吉永敦
分类号 H01L33/00 主分类号 H01L33/00
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 王以平
主权项 1.一种由在n型GaP衬底上相继形成n型GaP层、掺氮的n型GaP层和P型GaP层的方法制作的用于GaP发光元件的外延晶片,其特征是掺氮的n型GaP层中的Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni和Cu的总浓度不超过1×1015cm-3。
地址 日本东京