发明名称 METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE WHEREBY A LATERALLY BOUNDED SEMICONDUCTOR ZONE IS FORMED IN A SEMICONDUCTOR BODY IN A SELF-ALIGNING MANNER
摘要
申请公布号 EP0594248(A3) 申请公布日期 1998.02.18
申请号 EP19930202889 申请日期 1993.10.14
申请人 PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 DEKKER, RONALD;MAAS, HENRICUS GODEFRIDUS RAFAEL;PRUIJMBOOM, ARMAND;VAN DEN EINDEN, WILHELMUS T.A.
分类号 H01L21/28;H01L21/331;H01L21/335;H01L21/8249;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/225 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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