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发明名称 Plasma processing method and plasma processing apparatus
摘要
申请公布号 EP0674335(B1) 申请公布日期 1998.02.18
申请号 EP19950104141 申请日期 1995.03.21
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 HASHIZUME, JUNICHIROA;UEDA, SHIGENORI;TSUCHIDA, SHINJI
分类号 C23C16/24;C23C16/50;C23C16/509;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 C23C16/24
代理机构 代理人
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