| 发明名称 |
PRODUCTION OF SINGLE CRYSTAL AND MANUFACTURE OF WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1045492(A) |
申请公布日期 |
1998.02.17 |
| 申请号 |
JP19960200825 |
申请日期 |
1996.07.30 |
| 申请人 |
SUMITOMO SITIX CORP |
发明人 |
OKUI MASAHIKO;UMENO SHIGERU;TANAKA TADAMI |
| 分类号 |
C30B15/14;C30B29/06;C30B33/02;H01L21/322;(IPC1-7):C30B29/06 |
主分类号 |
C30B15/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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