发明名称
摘要
申请公布号 JP2716518(B2) 申请公布日期 1998.02.18
申请号 JP19890102859 申请日期 1989.04.21
申请人 发明人
分类号 H01J37/02;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/02
代理机构 代理人
主权项
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