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发明名称
SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH1046346(A)
申请公布日期
1998.02.17
申请号
JP19960205560
申请日期
1996.08.05
申请人
KAO CORP
发明人
ENDO KATSUMI;KITAORI NORIYUKI;SASAKI KATSUMI;YOSHIDA OSAMU;SHIGA AKIRA;MIYAMURA TAKESHI
分类号
C23C16/50;C23C16/511;G11B5/84;(IPC1-7):C23C16/50
主分类号
C23C16/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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