发明名称 INTEGRATED CIRCUIT TESTING PROBE AND HEAD WITH IT
摘要
申请公布号 JPH1038925(A) 申请公布日期 1998.02.13
申请号 JP19960205484 申请日期 1996.07.17
申请人 NIPPON MAIKURONIKUSU:KK 发明人 SHO MASAHIKO
分类号 G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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