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发明名称 SUBSTRATE CLEANING AND DRYING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH1041267(A) 申请公布日期 1998.02.13
申请号 JP19960207580 申请日期 1996.07.19
申请人 KAIJO CORP 发明人 TAMOTO KOICHI;KUBO KAZUKI
分类号 B08B3/04;B08B3/08;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/04
代理机构 代理人
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