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发明名称 MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1041476(A) 申请公布日期 1998.02.13
申请号 JP19960197530 申请日期 1996.07.26
申请人 NEC CORP 发明人 TANAKA TAKAO
分类号 H01L21/316;H01L21/762;H01L21/8246;H01L27/10;(IPC1-7):H01L27/10 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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