| 发明名称 |
LOW-VACUUM ATMOSPHERE TYPE SCANNING ELECTRON MICROSCOPE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH1040850(A) |
申请公布日期 |
1998.02.13 |
| 申请号 |
JP19960191772 |
申请日期 |
1996.07.22 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI SCI SYST:KK |
发明人 |
ITO MASUHIRO;AKATSU MITSUO;YUKITA NORIFUMI;SUZUKI HIROMASA |
| 分类号 |
H01J37/18;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28 |
主分类号 |
H01J37/18 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
