首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
METHOD AND DEVICE FOR PLASMA ETCHING
摘要
申请公布号
JPH1041279(A)
申请公布日期
1998.02.13
申请号
JP19960197296
申请日期
1996.07.26
申请人
HITACHI LTD
发明人
SUZUKI YASUMICHI
分类号
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
PROCESSO PARA A OBTENCAO DE CUBOS DE GELO E MAQUINA PARA A SUA REALIZACAO
PROCESSO PARA A REDUCAO DO TEOR DE ACETILENO DE CLORETO DE HIDROGENIO ANIDRO
APERFEICOAMENTOS EM PROCESSOS AZEOTROPICOS DE RETIFICACAO E DISIDRATACAO DO ALCOOL ETILICO
APARELHO DE CARBURACAO ESTEQUIOMETRICA
WATER-SOLUBLE,NON-IONIXING DERIVATIVES OF 2,4,6-TRIIODO-ISOPHTHALIC ACID
SISTEMA PER L'IMPILAMENTO DI CONTENITORI,PARTICOLARMENTE CASSETTE A NASTRO MAGNETICO
DISPOSITIVO SPETTROFOTOMETRICO ADUE LUNGHEZZE D'ONDA PER L'ESAME DEL CONTENUTO DI CONTENITORI IN PARTICOLARE PER LA RILEVAZIONE DI PERDITE IN CONTENITORI.
RIMORCHIO AGRICOLO CON CASSA A ROVESCIAMENTO POSTERIORE CONCARICATORE-ELEVATORE COSTITUENTE SPONDA POSTERIORE APRIBILE AL ROVESCIAMENTO DELLA CASSA, PARTICOLARMENTE PER LA RACCOLTA E TRASPORTO DI BARBABIETOLE.
INSIEME DI SEGNI PER COMPORRE DEI TESTI IN LETTERE ARABE PER GIUSTAPPOSIZIONE DI QUESTI ULTIMI.
STAMPATRICE SERIALE.
PUNTALE PERFEZIONATO PER STECCA DA BILIARDO.
ELEMENTO ASSOCIABILE A CALZATURE, PER FORMARE UNA SOTTOSCARPA ANTISCIVOLO.
LAMPADA D ISPEZIONE NON SMONTABILE
DISPOSITIVO PARASPIFFERI PERFEZIONATO PER PORTE E SIMILI.
PUNTALE PERFEZIONATO PER STECCA DA BILIARDO
APPARATUS FOR CONVETING SOLID WASTE MATTERS INTO USEFUL MATERIALS
EXOTHERMIC FUMIGATOR
PICK UP UNIT OF OFFSET QPSL SYNCHRONOUS SIGNAL
POWDERY MOLD RELEASING AGENT FOR CONFECTIONERY
PRODUCTION OF INSTANT NOODLE
