发明名称 LEAK TEST METHOD FOR FILM TEST PIECE BY HELIUM DETECTOR
摘要
申请公布号 JPH1038746(A) 申请公布日期 1998.02.13
申请号 JP19960189261 申请日期 1996.07.18
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 OCHIAI EIJIRO;MAEDA AKIHIRO
分类号 G01M3/20;B65B57/02;G01M3/32;(IPC1-7):G01M3/20 主分类号 G01M3/20
代理机构 代理人
主权项
地址