| 发明名称 |
SIMULATION ANALYZER FOR OPTICAL ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1038558(A) |
申请公布日期 |
1998.02.13 |
| 申请号 |
JP19960190658 |
申请日期 |
1996.07.19 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
MASHIGE MASASHI;OMORI MASAKI;YAMAMOTO KIYOSHI |
| 分类号 |
G01B21/30;G01M11/00;(IPC1-7):G01B21/30 |
主分类号 |
G01B21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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