发明名称 ELECTRONIC CIRCUIT SUBSTRATE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH1041201(A) 申请公布日期 1998.02.13
申请号 JP19960194333 申请日期 1996.07.24
申请人 HITACHI LTD 发明人 NISHIKAME MASASHI;KOIZUMI SHIGERU;SHIGI HIDETAKA
分类号 H01L21/306;H01L21/02;H05K3/06;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
地址