发明名称 PROBE STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH1038919(A) 申请公布日期 1998.02.13
申请号 JP19960191825 申请日期 1996.07.22
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YAMAMOTO NOBORU
分类号 G01R1/067;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/067 主分类号 G01R1/067
代理机构 代理人
主权项
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