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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH1041406(A)
申请公布日期
1998.02.13
申请号
JP19960189268
申请日期
1996.07.18
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
UEDA KIMIHIRO
分类号
H01L21/8238;H01L21/84;H01L27/088;H01L27/092;H01L27/12;H01L29/10;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/823
主分类号
H01L21/8238
代理机构
代理人
主权项
地址
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