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发明名称 FORMATION OF DIAPHRAGM STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH1038732(A) 申请公布日期 1998.02.13
申请号 JP19960200408 申请日期 1996.07.30
申请人 NEC CORP 发明人 SASAKI NARIHITO
分类号 G01L9/04;B81C1/00;G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/04 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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