发明名称 MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1041299(A) 申请公布日期 1998.02.13
申请号 JP19960196470 申请日期 1996.07.25
申请人 NEC CORP 发明人 INABA TAKASHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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