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发明名称 ION-IMPLANTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1040856(A) 申请公布日期 1998.02.13
申请号 JP19960196645 申请日期 1996.07.25
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 NAITO KATSUO
分类号 H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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