CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE,申请号JP19960196317-传众专利搜索

发明名称	CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
摘要
申请公布号	JPH1040848(A)	申请公布日期	1998.02.13
申请号	JP19960196317	申请日期	1996.07.25
申请人	NIKON CORP	发明人	SHIMIZU HIROYASU
分类号	H01J37/153;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/153	主分类号	H01J37/153
代理机构		代理人
主权项
地址