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发明名称 FORMATION OF BUMP
摘要
申请公布号 JPH1041304(A) 申请公布日期 1998.02.13
申请号 JP19960193158 申请日期 1996.07.23
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KITAYAMA YUUKO;YAMASHITA TOSHIMITSU;OZAWA SUSUMU;HAMANO YOSHIYO
分类号 H01L21/60;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
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