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发明名称 POSITION DETECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1038514(A) 申请公布日期 1998.02.13
申请号 JP19960193049 申请日期 1996.07.23
申请人 NIKON CORP 发明人 SHIRAISHI NAOMASA
分类号 G01B11/00;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):G01B11/00 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
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