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Die Ventilanordnung umfasst zwei aufeinanderliegende gelegte Silizium-Wafer, von denen der stromab gelegene eine Mehrzahl von eingeätzten Durchgangsöffnungen (6) aufweist. Der stromauf gelegene Wafer (3) ist mit einer Mehrzahl von Klappen (7) versehen. Diese sind durch Ätzen des Siliziums ausgebildet und liegen in durchgehenden Rahmenöffnungen (8). Dabei stehen sie mit dem Wafer (3) über membranartige Stege (9) in Verbindung, die elastische Öffnungs- und Schliessbewegungen zulassen. Den einzelnen Klappen (7) sind unterschiedliche Anzahlen und/oder Grössen von Durchgangsöffnungen (6) zugeordnet, so dass durch selektive Betätigung der Klappen eine dynamische Druck- und Durchflusssteuerung möglich ist, die einen sehr weiten Regelbereich abdeckt. Die Betätigung der Klappen (7) erfolgt über elektrische Steuermittel, die kapazitive Abstossungs- und Anziehungskräfte bewirken.
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