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发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements mit Ionenimplantierung
摘要
申请公布号 DE69220846(T2) 申请公布日期 1998.02.12
申请号 DE1992620846T 申请日期 1992.04.24
申请人 PHILIPS ELECTRONICS N.V., EINDHOVEN, NL 发明人 PEEK, HERMANUS LEONARDUS, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
分类号 H01L21/027;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/339;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/266 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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