发明名称 Methode zum Ätzen von Polyimiden und resultierenden passivierten Strukturen
摘要
申请公布号 DE69031143(T2) 申请公布日期 1998.02.12
申请号 DE19906031143T 申请日期 1990.02.23
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 KINDL, THOMAS E., ENDWELL N.Y. 13760, US;RICKERL, PAUL G., ENDICOTT, N.Y. 13760, US;RUSSEL, DAVID J., APALACHIN, N.Y. 13732, US
分类号 H01L21/60;H01L21/311;H05K3/00;H05K3/10;H05K3/38;H05K3/40;(IPC1-7):G03F7/40 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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