| 摘要 |
<p>L'application des fréquences microsonores au liquide s'effectue de préférence en même temps qu'un balayage par la fréquence microsonore dans la largeur de bande d'harmoniques du transducteur (122) pour la réduction ou l'élimination (a) des ondes stationnaires dans le liquide, (b) d'autres résonances, (c) de l'implosion par cavitation à haute énergie, et (d) des champs sonores non uniformes, chacun de ces phénomènes étant indésirable pour le nettoyage et/ou le traitement de plaquettes à semi-conducteurs et d'autres pièces délicates. Le procédé selon l'invention permet également d'exciter des transducteurs (122) à ultrasons de sorte que la fréquence de l'énergie appliquée présente une vitesse de balayage comprise dans la largeur de bande ultrasonore des transducteurs; et que la vitesse de balayage soit modifiée de manière qu'elle soit sensiblement non constante pendant le fonctionnement. Un générateur d'ultrasons de l'invention utilise parfois la modulation d'amplitude (MA), et la fréquence de modulation d'amplitude est balayée dans le temps de sorte que les résonances soient réduites. Deux transducteurs ou plus sont parfois utilisés en combinaison pour l'élargissement de la largeur de bande globale de l'énergie acoustique appliquée au liquide autour de la fréquence primaire ou d'une des harmoniques. Les largeurs de bande des transducteurs se chevauchent de sorte qu'un générateur associé puisse exciter les transducteurs, en combinaison, pour envoyer un ultrason dans le liquide dans une largeur de bande plus importante.</p> |
